Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2. М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко,М.А. Акуленко
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в...