Физико-технологические основы макро-,микро, и наноэлектроники. В. Томилин,А.А. Барыбин
Книга посвящена основным физическим явлениям и закономерностям, лежащим в основе технологических методов и процессов современной электроники. Особое внимание уделено наноматериалам и перспективным направлениям нанотехнологии. Изложение построено так,...