Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. Г. Красников
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования,...