Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Чистяков
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ...